江苏无锡建成国内最先进MEMS智能传感器孵化器

12日从位于无锡新区的中国传感网国际创新园获悉，针对当前国内传感器研发技术力量不足，由江苏物联网研究发展中心、无锡微纳产业发展有限公司和华润微电子等三方共建的国内首个完备MEMS智能传感器公共技术平台目前已进入实际运行阶段。依托该平台技术辐射，多家国内顶尖研发机构和企业已入驻，成为当地物联网产业的重要引擎。

MEMS(微机电系统)被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，具有体积小、功耗低、性能稳定等优点，也是物联网产业链中的最核心环节。今年2月，工信部发文明确将微型智能传感器纳入国家需要突破的关键技术。

由于技术门槛较高，加上缺乏开放、专业的生产平台，国内大部分智能传感器产品处于原型研制或小批量阶段，与国外差距较大。无锡微纳产业发展有限公司总经理王红介绍，从完善产业链角度出发，无锡新区自2010年开始筹建MEMS智能传感器平台，依托当地半导体产业的雄厚基础，建设了国内首个具备设计、加工和测试服务能力的生产线，并迅速集聚了一批具有自主知识产权的研发机构和企业。

“研发生产线和规模制造线的无缝对接将使得MEMS成果快速产业化成为可能，由此会加快国内智能传感器产业环境形成良性循环”，王红表示。

据介绍，该平台运行一年以来，主要从技术和资金两方面给予企业支持。截至今年7月，平台累计企业数26家，累计测试91次，补贴资金1400多万元。

按当地规划，无锡新区将于十二五期间培育占全国总量10%左右的传感器产业，成为国内最大、技术最先进的智能传感器基地。与此同时，无锡市还将每年筹集5亿元专项资金用于扶持相关产业发展。